水蒸氣在緊縮進程中會凝結成水滴，并與真空泵混合構成懸浮液，不只會使真空度下降，也能使真空泵腔與轉子生銹，損壞密封面，使泵的極限真空度下降。為此，避免水蒸氣對真空泵的污染很重要。下面就讓大家和真空泵廠家一同看一下吧。
　　 1、選用帶有氣鎮設備的油封機械泵。
　　 2、裝油別離器、離心式別離器或油水別離器，將混有水的機械泵油中止處置，處置過的油再流入泵中運用。
　　 3、運用吸水性強的單調劑。
　　 4、運用液氮冷阱，不只能有效地吸附水蒸氣，同時還能夠阻遏機械泵油向高真空室返流。
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